Fabrication of Micro/Nano Structures via Precision Machining 2023rd ed. H 23

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内容の説明

This book introduces the cutting-edge technology of micro/nano structure fabrication from precision machining, electrical discharge machining (EDM) and precision grinding and injection molding, the contents of the presented book includes but not limited to the machining process, cutting tool preparation, tool path generation, and surface evaluation. This book provides a variety of feasible fabrication methods and advanced manufacturing techniques for the precision fabrication of micro/nano-structures, especially for complex micro/nano-structures. Since the book focuses on the micro/nano-structure fabrication methods including hieratical micro/nano-structures, graduate students, engineering technicians, and researchers in related areas will benefit from this book; also, someone in related application fields such as biomedicine, communication, optics may be the potential readers of this book.

登録情報

商品コード：1035902990
出版社: Springer Singapore
出版年月: 2023/05
ISBN-10: 9819913373
ISBN-13: 978-981-9913-37-4
出版国: シンガポール
装丁: hardcover/Geb./rel.
媒体: 冊子
ページ数:
ジャンル: ナノ・マイクロデバイス