Microelectronic Test Structures for CMOS Technology 2011st ed. H XXXIV, 373 p. 11

著者：Bhushan, Manjul/Ketchen, Mark B.

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登録情報

商品コード：1000066250
出版社: Springer-Verlag New York
出版年月: 2011/08
ISBN-10: 1441993762
ISBN-13: 978-1-4419-9376-2
出版国: アメリカ合衆国
装丁: hardcover/Geb./rel.
媒体: 冊子
ページ数: XXXIV, 373 p.
ジャンル: 半導体デバイス製造技術